Система магнетронного распыления

Модель

DXT-450

Вакуумная камера распыления

Цилиндрическая дверная конструкция с передним открыванием, размер: Ø450*400 мм.

Конфигурация вакуумной системы

Составной молекулярный насос, механический насос, пневматический золотниковый клапан, импортный дроссель цилиндра SMC

Предельное давление

≤6.6*10^-6Pa (после обжига и дегазации)

Время восстановления вакуума

за 25 минут можно достичь 6,6*10^-4Pa (выставить на воздух и надуть сухой хлор, а затем начать выпуск воздуха

Компонент мишеней для распыления постоянным магнетроном

Три постоянные мишени, размер мишени: Ø60 мм (Одна из них может распылять магнитный материал.) Радионапыление каждой мишени и распыление постоянным током совместимы. Водяное охлаждение мишени. Три мишени могут одновременно отклоняться выше центра образца. Расстояние между мишенью и образцом составляет 90-130 мм, которое можно регулировать. Каждая мишень оснащена импортной вращающейся пневматической перегородкой SMC.

Монокрепидный обогреватель

Размер выборки

Ø4 дюйма

Режим движения

Подложка может непрерывно вращаться, скорость вращения: 0–30 об/мин.

Тепло

Тепловая импортная нагревательная лента, МАКС. температура нагрева 600℃±1℃

Форма перегородки

Импортное управление угловым цилиндром SMC
Качественный контроллер расхода, 2 канала

Система воздушного контура

Компьютерная система управления

принимает ПЛК + промышленный персональный компьютер + режим автоматического управления сенсорным экраном

*Аксессуары на выбор

Толщиномер пленки, насос, машина цикла охлаждающей воды

Площадь пола

Базовый блок:1m*1.8m, электрический шкаф управления:0.9m*0.6m