Вакуумная установка нанесения покрытий термическим испарением

Модель

DXD-450

Основная вакуумная камера

Квадратная вакуумная камера, размер: 400*400*400 мм.

Конфигурация вакуумной системы

Механический насос, молекулярный насос, золотниковый клапан

Предельное давление

≤6*10-5Pa

Время восстановления вакуума

Достижение давления 9*10-4Па за 40 минут (выдержите на воздухе на короткое время, надуйте сухой хлор, а затем начните выпуск воздуха)

Нагревательная пластина подложки

Размер выборки

120*120мм, 1 шт.

Режим движения

Субстрат может располагаться вверх и вниз, диапазон мутаций: 0-50 мм.
Подложка может непрерывно вращаться. Скорость вращения: 5-30 об/мин

Тепло

МАКС. температура нагрева подложки 800℃±1℃
Расстояние между подложкой и испарителем: 250–300 мм.

Органический источник сопротивления испарению

Тигель

Емкость тигля: ≥2 куб.см.

Температура

Комнатная температура — 500 ℃, постоянная и регулируемая.

Мощность

Ток: 300 А, макс. выходная мощность: 3 кВт

Электрод с водяным охлаждением

4 шт., можно собрать в 2 испарительные лодочки.

Контроллер толщины кварцевой пленки

Диапазон толщины пленки монитора: 0–99μ9999Å.

Система воздушного контура

Качественный контроллер расхода, 1 канал

Устройство сканирования лазерного луча

Механический столик двумерного сканирования, выполняет два свободных сканирования.

Компьютерная система управления

Он контролирует вращение целевой пластины, вращение мишени, вращение образца, контроль температуры образца, сканирование лазерным лучом и так далее.

Площадь пола

Базовый блок

2450*1250мм2 (независимая стойка, (770*600мм2) Размер соответствует перчаточному ящику (1830*750мм2)

Электрический шкаф управления

700*700 мм2 (1 комплект)