Оборудование для выращивания пленок атомарной толщины
Цену уточняйте
- Под заказ
- Код: DX-1160799
Отправка с 18 декабря 2026
Введение
Атомно-слоевое осаждение — это метод подготовки пленки, позволяющий точно контролировать толщину пленки. С его помощью можно было наносить металлы, оксиды, карбиды (N, SSi), различные полупроводниковые и сверхпроводниковые материалы. Эксплуатация оборудования проста и надежна, а параметры испытаний являются гибкими, что может удовлетворить требования к сложному пленочному материалу с равномерным покрытием в колледжах и научных учреждениях.
Технический индекс
| Абсолютный пылесос | 5Pa | |||
| Скорость утечки всего вакуума | ＜10-8Pa.l/s | |||
| Вакуумная камера | Вакуумная полость | аргонодуговая сварка материала из нержавеющей стали и конструкция верхней поднятой крышки | ||
| Нижний выпускной порт | Connect вакуумный сухой насос | |||
| Нагреватель подложки | Внешняя система отопления, комнатная температура ~ 500 ℃, непрерывная и регулируемая. | |||
| Размер подложки. | Ø50-100mm | |||
| Равномерность толщины пленки | Что касается пленки ZnO элементов диаметром 100 мм, однородность толщины пленки составляет менее ± 1%. | |||
| ALD Газовый контур управления транспортировкой рабочего газа | Контур жидкого источника газа | Индивидуальный | ||
| Источник газа Газовый контур | Индивидуальный | |||
| Вакуумная выхлопная система | Двусторонний безмасляный сухой вакуумный насос | 1 комплект | ||
| Вакуумный трубопровод | 1 комплект | |||
| Вакуумный монитор | Датчик Прани | Диапазон измерения: 1,0*105 Pa-3*10-2 pa | ||
| Запись сбора данных и человеко-компьютерный интерфейс | 1 комплект | |||
| Компьютерная система управления | Образец источника питания для обогрева | 1 комплект | ||
| Магнитный | 1 комплект | |||
| Источник питания главного управления | 1 комплект | |||
| Установка машины | Сварка стального материала, быстросъемная маска. Тележки можно фиксировать и перемещать. | |||
| Размер оборудования (длина*ширина*высота) | 600*600*1200mm | |||
| Основные | |
|---|---|
| Страна производитель | Китай |
- Цена: Цену уточняйте