Однокамерная система магнетронного распыления

Модель

DXJ-450D

Размер вакуумной камеры

Размер цилиндрической вакуумной камеры: Ø450*350 мм.

Конфигурация вакуумной системы

Составной молекулярный насос, механический насос, золотниковый клапан

Предельное давление

≤6.67*10^-5Pa (после обжига и дегазации)

Время восстановления вакуума

Достигните 6,6*10-4Па за 40 минут (выдержите на воздухе на короткое время, накачайте сухим хлором, а затем начните вытяжку воздуха).

Компонент мишеней для распыления постоянным магнетроном

Три постоянные мишени, размер мишени: Ø60 мм (Одна из них может распылять магнитный материал.) Радионапыление каждой мишени и распыление постоянным током совместимы. Три цели могут вместе отклониться выше центра образца. Расстояние между мишенью и образцом составляет 90-110 мм, которое можно регулировать. При распылении вверх расстояние между мишенью и образцом составляет 40-80 мм.

Нагревательная пластина с водяным охлаждением и одной подложкой

Структура подложки

Нагрев подложки и водяное охлаждение работают независимо друг от друга. При демонтаже нагревательной печи можно установить подложку с водяным охлаждением.

Размер выборки

Ø30 mm

Режим движения

Подложка может непрерывно вращаться. Скорость вращения: 5-10 об/мин

Тепло

МАКС. температура нагрева подложки: 600℃±1℃

Отрицательное смещение подложки

-200V

Система воздушного контура

Качественный контроллер расхода, 2 канала

Компьютерная система управления

Управление вращением образца, переключение перегородки, подтверждение целевого места и т. д.

*Аксессуары на выбор
Революционная пластина для подложки на 6 станций

Удаление одной нагревательной пластины водяного охлаждения подложки позволяет установить эту пластину. Можно разместить 6 подложек диаметром 30 мм. Одна из 6 станций для установки нагревательной печи, другая для подложки водяного охлаждения или естественного охлаждения. МАКС. температура нагрева подложки составляет 600 ℃ ± 1 ℃.

Площадь пола

Базовый блок

1300*800mm²

Электрический шкаф управления

700*700mm²(2 комплекта)