Печь для выращивания кристаллов карбида кремния

Обзор продукта:

Он в основном состоит из компонентов камеры печи, компонентов верхней камеры печи, механизма поддержки образца, компонентов передачи окна измерения температуры, системы сбора и измерения вакуума, газовой системы, системы водоснабжения, системы индукционного нагрева, системы автоматического управления и т. д. Конструкция оборудования должна быть стабильной, работа стабильной, а также имеется несколько средств защиты. Контроль массового расхода и температуры является точным. Весь процесс выращивания кристаллов контролируется высоконадежным программируемым компьютерным контроллером (PCC), причем процесс может контролироваться полностью автоматически (CCD) и записывать информацию.

Структура вакуумной камеры:
Камера роста имеет структуру кварцевой трубки, верхний и нижний уплотнительные фланцы кварцевой трубки изготовлены из материала 316L, поверхность обработана специальным способом, а для уплотнения используется импортное кольцо из фторкаучука.

Размер вакуумной камеры:
Характеристики кварцевой полости: внутренний диаметр 400 мм, высота 1100 мм.

Максимальная степень вакуума:
≤6,6E-5Па (холодное состояние, пустая печь)

Источник отложений:
Предельная степень вакуума: ≤6,6×10-5Па (холодное состояние, пустая печь) Скорость обнаружения утечек в вакууме системы: Скорость обнаружения утечек в кварцевой полости составляет ≤5,0×10-7 Па.л/с. 12-часовой индекс вакуума при поддержании давления: ≤5Па (холодная пустая печь). Характеристики кварцевой камеры: внутренний диаметр 400 мм, высота 1100 мм. Диаметр выращенных кристаллов: может вырасти на 6 дюймов. Рост кристаллов. контроль.

Размер образца, температура:
6 дюймов

Площадь основания (длина х ширина х высота):
Площадь места установки более 12 кв.м, высота места не менее 4,5 м.

Описание электрического управления:
Принять компьютерную систему управления и сенсорный экран. Весь процесс роста кристаллов отображается интуитивно и с высокой интерактивностью; с автоматической системой контроля роста кристаллов.