Оборудование непрерывного производства тонкопленочных солнечных элементов

Состав

Система в основном состоит из камеры испарения меди, индия, галлия, селена, камеры распыления молибдена, меди, индия, галлия, камеры распыления, камеры впрыска образца, камеры торжественности, камеры распыления ZnO, камеры лазерного фототравления, буферной камеры электрохимического производства, камеры впрыска образца, камеры доставки образца, печи с источником луча, магнитной контрольной мишени, учреждений магнитной доставки образцов, устройства банка образцов, образца отопительное учреждение, тележка для образцов, насосная система, система измерения вакуума, система газового контура, электрическая система управления и так далее.

Технический индекс

Предельное давление камеры осаждения: 6,6*10-8Па,
Предельное давление камеры напыления: 6,6*10-5Па,
Камера для ввода проб открывается и закрывается вручную, в нее можно поместить 6 образцов.
Образец стекло, размер: 100*100*3мм. В камере напыления можно разместить цельный образец.
Образец можно нагревать и вручную доставлять образец на каждую соответствующую станцию ​​в вакуумном состоянии.