Четырехкамерная система магнетронного распыления с квадратными камерами
Цену уточняйте
- Под заказ
- Код: DXJ-1000
Отправка с 18 декабря 2026
Состав
Система в основном состоит из камеры впрыска образца, камеры распыления, камеры для изготовления образцов, устройства доставки подложки, системы откачки и измерения вакуума, системы газового контура, электронной системы управления и так далее.
Технический индекс
| Модель | DXJ-1000 | |
| Основная вакуумная камера распыления | Квадратная вакуумная камера для распыления, размер: 1000*700*350 мм | |
| Камера для ввода проб, | Квадратная вакуумная камера для распыления, размер: 700*700*350 мм | |
| Конфигурация вакуумной системы | Механический насос, молекулярный насос, золотниковый клапан | |
| Предельное давление | Основная камера распыления | ≤8*10-5Па (после обжига и дегазации) |
| Впрыск образца | ≤6,6*10-4Па (после обжига и дегазации) | |
| Время восстановления вакуума | Основная камера распыления | Достигните 6,6*10-4Па за 40 минут (выдержите на воздухе на короткое время, накачайте сухим хлором, а затем начните вытяжку воздуха). |
| Впрыск образца | Достижение давления 5*10-3Па за 20 минут (выдержите на воздухе на короткое время, надуйте сухой хлор, а затем начните выпуск воздуха) | |
| Компонент мишеней для распыления постоянным магнетроном | Две магнетронные мишени, квадратная мишень размером примерно 450*75 мм. Расстояние между мишенью и образцом составляет около 80mm. | |
| Нагревательная пластина подложки | Структура подложки | Размер: 125*125 мм или 156*156 мм. За один раз можно разместить 4 штуки. |
| Температура нагрева | Температура в помещении около 400℃±2℃, можно контролировать и регулировать. | |
| Другая конфигурация | Оснащен промывкой ионной пушки и автоматическим управлением. | |
| Система воздушного контура | Качественный контроллер расхода, 3 канала | |
| Площадь пола | Базовый блок | 2655*930mm2 |
| Электрический шкаф управления | 700*700мм2 (2 комплекта) | |
| Основные | |
|---|---|
| Страна производитель | Китай |
- Цена: Цену уточняйте