Электронно-лучевая система нанесения покрытий

Модель

DXD-500

Структура

Вакуумная камера представляет собой U-образный ящик с дверцей спереди и насосной системой сзади.

Вакуумная камера

500*500*600mm3

Конфигурация вакуумной системы

Составной молекулярный насос, механический насос, золотниковый клапан

Предельное давление

≤6,67*10-5Па (после обжига и дегазации)

Время восстановления вакуума

Достигните давления 6,67*10-4Па за 45 минут (выдержите на воздухе на короткое время, накачайте сухим хлором, а затем начните вытяжку воздуха).

Электронно-лучевой источник испарения

Электронный пистолет E-образной формы

Напряжение положительного полюса: 6 кВ, 8 кВ

Количество (комплект)

2

Тигель

Тигель с водяным охлаждением, конструкция с четырьмя отверстиями, емкость каждого: 11 мл.

Мощность

0-6 кВт регулируемый

Резистивный источник испарения (опция)

Напряжение

5, 10V

Мощность

Ток: 300 А, макс. выходная мощность: 3 кВт

Количество

1 комплект, можно заменить

Электрод с водяным охлаждением

3 шт., можно собрать в 2 испарительные лодочки.

Тип и размер рабочей подставки

Размер подложки: можно разместить подложку шириной 4 дюйма.
МАКС. температура нагрева подложки 800℃±1℃
Подложка может непрерывно вращаться. Скорость вращения: 5-60 об/мин
Расстояние между подложкой и источником испарения составляет 300–350 мм, которое можно регулировать.
Компоненты перегородки для проб с ручным контролем 1 комплект

Система воздушного контура

Качественный контроллер расхода, 1 канал

Контроллер толщины кварцевой пленки

Диапазон толщины пленки монитора: 0–99μ9999Å.

Площадь пола

Базовый блок

900*800mm2

Электрический шкаф управления

800*800 мм2 (2 комплекта)