Состав
Система в основном состоит из вакуумной камеры распыления, вращающейся мишенной платформы, нагревательной пластины с антиоксидантной подложкой, контура рабочего воздуха, системы отвода воздуха, установочного устройства, устройства измерения вакуума, электрической системы управления и так далее.
Технический индекс
| Модель | DXP-300 | |
| Основная вакуумная камера | Сфера, размер: Ø300мм | |
| Конфигурация вакуумной системы | Механический насос, молекулярный насос, золотниковый клапан | |
| Предельное давление | ≤6.67*10-5Pa (после обжига и дегазации) | |
| Время восстановления вакуума | Досягаемость 5*10-3Па через 20 минут (выдержите на воздухе на короткое время, надуйте сухой хлор, а затем начните вытяжку воздуха) | |
| Вращающаяся мишенная платформа | Размер мишени: Ø30, можно установить 4 мишени за один раз, можно достичь цели изменения оборотов, и каждая мишень может вращаться. Скорость вращения: 5-60 об/мин. | |
| Нагревательная пластина подложки | Размер выборки | 1 дюйм |
| Режим движения | Подложка может непрерывно вращаться. Скорость вращения: 5-60 об/мин | |
| Тепло | МАКС. температура нагрева подложки 800℃±1℃ | |
| Система воздушного контура | Качественный контроллер расхода, 1 канал | |
| Устройство сканирования лазерного луча | Механический столик двумерного сканирования, выполняет два свободных сканирования. | |
| Компьютерная система управления | Он управляет вращением целевой пластины, вращением цели, вращением образца, контролем температуры образца, сканированием лазерного луча и так далее. | |
| Площадь пола | Базовый блок | 850*850mm2 |
| Электрический шкаф управления | 700*700mm2(1 комплект) | |
| Основные атрибуты | |
|---|---|
| Страна производитель | Китай |
- Цена: Цену уточняйте


Отправка с 18 декабря 2026