Однокамерная система магнетронного распыления с грушевидной камерой

Модель

DXJ-560D

Вакуумная камера распыления

Размер вакуумной камеры пириформного распыления: Ø560*350 мм.

Конфигурация вакуумной системы

Составной молекулярный насос, механический насос, золотниковый клапан

Предельное давление

2,0*10-5Па (после запекания и дегазации)

Время восстановления вакуума

Система подвергается воздействию воздуха и накачивается сухим хлором, а затем за короткое время начинается выпуск воздуха. Оно может достигать 6,6*10-4Па за 40 минут.

Компонент мишеней для распыления постоянным магнетроном

Пять постоянных мишеней, размер мишени: Ø60 мм (Одна из них может распылять магнитный материал.) Радионапыление каждой мишени и распыление постоянным током совместимы. Расстояние между мишенью и образцом составляет 40-80 мм, которое можно регулировать.

Подложка Тепловая революция с водяным охлаждением

Структура подложки

6 станций, одна для установки нагревательной печи, другая для подложки с водяным охлаждением

Размер выборки

Ø30 мм. Он может принять 6 штук

Режим движения

0-360° назад и вперед, вращение

Тепло

МАКС. температура нагрева подложки 600℃±1℃

Отрицательное смещение подложки

-200V

Система воздушного контура

Качественный контроллер расхода, 2 канала

Компьютерная система управления

Управление вращением образца, переключение перегородки и подтверждение целевого места

Площадь пола

Базовый блок

1300*800mm2

Электрический шкаф управления

700*700mm²(2 комплекта)