Установка резистивного нанесения покрытий в высоком вакууме

Базовая структура и основные технические характеристики оборудования

Оборудование для нанесения покрытия состоит из вакуумной камеры, системы источника испарения, системы столиков для проб, блока вакуумного насоса, рамы оборудования, электрической системы управления и системы перчаточного бокса. Передняя дверь вакуумной камеры может быть соединена с перчаточным ящиком. Он использует интегрированную схему конструкции, а весь комплект оборудования имеет компактную структуру и простую компоновку, что позволяет избежать явления беспорядочного внешнего вида экспериментального оборудования.

1. Вакуумная камера: 1 комплект.

1. Внешний вид: Один комплект вакуумной камеры D-образной формы с передним открыванием из высококачественной нержавеющей стали 304, внутренние размеры φ550×В600 мм. Дверь представляет собой распашную квадратную дверь для облегчения чистки, регулировки, обслуживания и загрузки/выгрузки предметов внутри вакуумной камеры. Входная дверь представляет собой горизонтально-раздвижную квадратную дверь. Каждая дверь оборудована смотровым окном DN100. В комплект входит один комплект внутренней облицовочной пластины.
2. Внизу: четыре набора интерфейсов металлических источников, два набора интерфейсов американских толстопленочных датчиков с водяным охлаждением MCVAC. Интерфейс освещения CF25 (2 комплекта);
3. Top: интерфейс столика для проб (1 комплект), интерфейс пневматической перегородки (2 комплекта), интерфейс GDQ-J16B-KF для высоковакуумного пневматического перегородочного клапана (1 комплект);
4. Боковая стенка: интерфейс молекулярного насоса с водяным охлаждением смазки JTFB-1300Z (1 комплект), интерфейс высоковакуумного пневматического перегородочного клапана JCDQ-J40B-CF (1 комплект), несколько зарезервированных фланцев;
5. Скорость утечки из полости: Общая скорость утечки лучше 5×10-8 Па·м3/с, выдержка давления в течение 12 часов, давление менее 10 Па.
   

2. Система источника испарения: 1 комплект.

1. Четыре набора металлических источников: четыре набора медных электродов с водяным охлаждением, совместимых с испарительными лодочками (вольфрамовые, молибденовые, танталовые) и спиральными проволоками, способными испарять металлы и оксиды и т. д., с использованием цилиндрических перегородок, откидных переключателей, четыре источника питания постоянного тока, переключаемый цифровой дисплей. Источниками питания испарения можно управлять с помощью программного обеспечения или вручную. Кроме того, источники питания испарения также могут автоматически регулировать скорость испарения и контролировать точность испарения (скорость 0,1) посредством (управления с обратной связью);
2. Сепараторы: источники испарения разделены сепараторами во избежание перекрестного загрязнения. Некоторые сепараторы можно разобрать без инструментов.

3. Система столиков для образцов: 1 комплект

1. Вращение подложки: используется уплотнение с магнитной жидкостью для обеспечения надежного уплотнения; Скорость вращения 5-20 об/мин, плавно регулируется с помощью сенсорного управления.
2. Подъем подложки: Расстояние между подложкой и источником испарения составляет 240–340 мм; используется электрический подъем, плавно регулируемый с помощью сенсорного экрана.
3. Держатель подложки: кронштейн размером 200*200 мм может удерживать образцы/подложки различных размеров; оснащен пневматической перегородкой и механизмом вращения.
4. Пример: Отопление и охлаждение.
5. Перегородка подложки: используется магнитно-жидкостное уплотнение; его можно открывать и закрывать под любым углом поворота подложки; управляется программным обеспечением с помощью поворотного переключателя, обеспечивая плавную скорость.

4. Вакуумный насос: 1 комплект.

1. Один двухступенчатый насос VRD-30;
2. Один вакуумный электромагнитный загрузочный клапан DDC-JQ40-KF;
3. Один комплект соединительных шлангов насоса и клапана KF40;
4. Один пневматический отбойный клапан высокого вакуума GDQ-J40B-KF;
5. Один молекулярный насос JTFB-1300Z с водяным охлаждением и консистентной смазкой;
6. Один пневматический шиберный клапан сверхвысокого вакуума CCQ-200CF;
7. Один пневматический перегородочный клапан сверхвысокого вакуума CDQ-J40B-CF;
8. Один пневматический отбойный клапан высокого вакуума GDQ-J16B-KF;
9. Один вакуумметр с цифровым дисплеем ZDF-5227 (диапазон измерения: 1×10⁵～1×10⁻⁵ Па).

5. Система определения толщины пленки: 1 комплект.

1. Измеритель толщины пленки: используется один прибор для контроля толщины кварцевой пленки Incon SQC310C. Режим: последовательное покрытие; зонд: два канала; точность отображения и управления: 0,01 Å/с; разрешение по частоте: 0,01 Гц; Благодаря функции ПИД-регулятора толщиномер пленки может автоматически контролировать скорость испарения.
2. Датчик толщины пленки: два набора импортных датчиков толщины пленки MCVAC с водяным охлаждением из США, 6 МГц, с использованием быстроразъемной защелкивающейся конструкции для замены кварцевого генератора, позволяющей избежать повреждения кварцевого генератора с помощью зажимной конструкции с резьбой и с использованием фиксирующей и уплотняющей конструкции с резиновым кольцом.
   

6. Системный каркас

1. Один комплект сварной рамы из квадратных труб из 40 углеродистой стали с порошковым покрытием;
2. Четыре 3-дюймовых ролика для перемещения и регулировки;
3. Четыре ножки M16 для фиксации и позиционирования.

7. Другие электрические системы управления: 1 комплект (электрическое управление встроено в стойку)

1. Блок питания освещения выпечки: 1 шт.;
2. Главный источник питания управления: 1 блок, оснащенный сенсорным экраном компьютера, контроллером ПЛК, столиком для проб и контроллером перегородки, контроллером перегородки источника испарения, переключателями клапанов насоса, датчиком последовательности фаз, разъемами переключателя кабеля и т. д.
3. Управление ПК
   

8. Другие параметры

1. Защита от потери фазы, защита от неправильной эксплуатации, блокировка и функции вакуумного запуска/останова одной кнопкой;
2. Источник питания: однофазная система питания ~220 В (пиковая мощность 4 кВт);
3. Водоснабжение: циркуляционный охладитель, температура охлаждающей воды 17℃～35℃, рабочая температура окружающей среды: 10℃～40℃;
4. Подача газа: небольшой безмасляный бесшумный воздушный насос, обеспечивающий давление воздуха 0,2–0,3 МПа для привода пневматических клапанов;
5. Максимальный вакуум: выше 1×10-6 мбар, атмосферное давление до 8×10-6 мбар менее чем за 40 минут, заполнен сухим азотом.
6. Газовый контур: три трубопровода из нержавеющей стали.

9. Дополнительный компонент

1. Магнетронное распыление: гибридная система для распыления и испарения.
2. Смещение RF/DC: для очистки подложки перед осаждением.
3. Криогенная насосная станция: для условий сверхвысокого вакуума (СВВ).
4. Перчаточный ящик Vigor — двойная станция

Перчаточный ящик

• Корпус: нержавеющая сталь (US304; EU1.4301), толщина 3 мм, матовая поверхность, белая краска.
• Съемное переднее окно: безопасное стекло с запатентованным герметичным уплотнением между смотровым окном и корпусом.
• Перчаточный разъем: анодированный алюминиевый сплав, 8 дюймов/203 мм, с запатентованным герметичным уплотнением между смотровым окном и отверстием для перчаток.
• Перчатка: бутилкаучук, 200 мм, длина 810 мм, двусторонняя перчатка.
• Кронштейн: Опора стальной конструкции имеет высоту 900 мм и оснащена поворотными роликами.
• Фланец KF40: KF40, наружная длина 20 мм, приварен к поверхности корпуса, включая глухие фланцы.
• Полка, регулируемая по высоте: 800 мм (Ш) X 170 мм (Г), регулируемый или фиксированный тип.
• Один пневматический чистящий клапан: DN25, внешнее подключение к KF40 (подключено к выхлопной трубе)

Технические параметры

• Скорость утечки: <0,02 об.%/час
• Технические характеристики: Кислород <1 ppm, Вода <1 ppm.
• Рабочий газ: азот, аргон или другие специальные газы.

Переходная кабина

• Одна большая переходная камера, изготовленная из нержавеющей стали (US304; EU1.4301), 370X600 мм, приваренная к боковой части корпуса, герметичная, автоматическое заполнение и опорожнение под управлением ПЛК, а также один выдвижной лоток.

Система очистки газа

• Одна колонна очистки газа содержит медный катализатор и молекулярное сито.
• Одна колонна для адсорбции паров органических растворителей (активированный уголь)
• Вентиляторы, электромагнитные клапаны и вакуумные насосы (включая фильтры масляного тумана)

Система управления

• Источник питания: однофазный, 220–230 В переменного тока, 50 Гц, макс. 230 ВА.
• Один ножной переключатель: используется для точной настройки давления в баке.
• Цветной сенсорный экран, 7 контактов: китайский или английский
• Один внутренний шнур питания с гнездом с несколькими отверстиями
• ПЛК
• Автоматическое заполнение и опорожнение большой переходной камеры.
• Циркуляционная очистка может автоматически контролироваться по показателю воды и кислорода в камере.
• Полностью интегрированное управление нагревательной переходной камерой, холодильником и системой охлаждения.
• Автоматическое определение уровня утечек
• Автоматический контроль давления в камере, диапазон рабочего давления: от +10 до -10 мбар.
• Автоматическая очистка
• Отображение ошибок работы и подсказок
• Автоматическая запись и отображение исторических данных системы.
• Для всех операций предусмотрены заданные условия и механизмы блокировки.

Подробная информация

• Модель: LG2400/750TS
• Размер: 2*1200м(Д)*750мм(Д)*900мм(В)
• Структура: двусторонняя
• Количество перчаточных ящиков: 4
  

Конфигурация

No.; Имя; Технические характеристики; Единицы; Q’ty; Примечания

Вакуумная камера

1; Вакуумная камера; Φ550×H600mm; Набор; 1;

2; Задняя дверь вакуумной камеры; Распашной, с одним окном; Набор; 1;

3; Передняя дверь вакуумной камеры; Горизонтальная прокрутка, с окном; Набор; 1;

Система источника испарения

1; Ментальный источник; Пневматический затвор; Набор; 4;

2; Источник питания Mental; ; Набор; 4;

Система столиков для образцов

1; Пример компонента сцены; ; Набор; 1;

2; Пример затвора сцены; ; Набор; 1;

Вакуумный насос

1; Двухступенчатый насос; Модель: DXVRD-30; Единица; 1;

2; Вакуумный электромагнитный зарядный клапан; ; Единица; 1;

3; Соединительная трубка вакуумного насоса; ; Набор; 1;

4; Пневматический перегородочный клапан высокого вакуума; ; Единица; 1;

5; Молекулярный насос с консистентной смазкой; Молекулярный насос с водяным охлаждением и консистентной смазкой; Единица; 1;

6; Пневматический вакуумный шиберный клапан UH; ; Единица; 1;

7; UH вакуумный пневматический перегородочный клапан; ; Единица; 1;

8; Пневматический перегородочный клапан высокого вакуума; ; Единица; 1;

9; Цифровой вакуумметр; Модель: ZDF-5227, один низкий, один высокий; Набор; 1;

Система контроля толщины пленки

1; Монитор с кварцевой диафрагмой; Инфокон SQC310C; Набор; 1;

2; датчик толщины диафрагмы с водяным охлаждением; MCVAC (США); Набор; 2;

Рамка

1; Рамный корпус; ; Набор; 1;

2; Малый охладитель; ; Набор; 1;

3; Маленький безмасляный бесшумный воздушный насос; ; Набор; 1;

Электрическая система управления

1; Светильник для выпечки; ; Набор; 1;

2; Блок питания для освещения выпечки; ; Единица; 1;

3; Главный источник питания управления; ; Набор; 1;

Система перчаточного ящика