Серия 81000 - Алюминиевые вакуумные затворы

Области применения:
- Полупроводниковая промышленность
- Производство солнечных панелей
- Производство светодиодных и ЖК дисплеев
- Напыление и напылительные системы
- Биофармацевтика
- Системные интеграторы
- OEM производители
Прецизионно-точно изготовленный прочный алюминиевый корпус из монолитной заготовки 6061-T6 |
![]() |
|
Меньшая дегазация водорода (H2) чем затворы такого же размера из нержавеющей стали |
||
Два износостойких кольцевых уплотнения
|
||
Шток прямого привода большого диаметра из нержавеющей стали 304SS - Уменьшает вибрации |
||
Высококачественные комплектующие из полиэфирэфиркетона (PEEK)
|
||
Разъемный корпус обеспечивает простоту обслуживания |
Спецификация алюминиевых вакуумных затворов серии 81000
Материалы | ![]() |
|
---|---|---|
Корпус и механика | Алюминий 6061-T6 | |
Шток | [DN40-80] Алюминий / [DN100-500] нержавеющая сталь 304 | |
Суппорт | Алюминий 6061-T6 / PEEK | |
Уплотнения корпуса/тарелки/штока | Viton (эластомер) |
|
Вакуум | ||
Рабочий вакуум | до 1 x 10-7 мбар | |
Натекание через затвор | < 2 x 10-9 мбар л/с | |
Перепад давлений | ≤ 1.6 бар в любом направлении | |
Перепад давлений перед открытием |
≤ 30 мбар |
|
Рабочая температура | ||
Корпус и затвор | ≤ 120°C | |
Привод | ≤ 80°C | |
Соленоид | ≤ 60°C | |
Привод: | ||
Сжатый воздух для пневматического соленоида | Макс. 5 атм | |
Соленоид | 120 В, 50/60 Гц, 24 В | |
Индикатор положения | 115 В или +28 В, 20 мА | |
Положение для монтажа | любое | |
Количество циклов Циклов до сервисного обслуживания |
[DN40 -160] 400,000 циклов [DN200 -320] 250,000 циклов |
Информация для заказа
Ручное управлениеDN | Модели KF / ISO-K | Модели ISO-F | Модели JIS | Модели CF-F* | |
---|---|---|---|---|---|
мм | дюйм | ||||
40 | 1.5 | 81110-0153 | _ | _ | 81110-0150 |
50 | 2.0 | 81110-0203 | _ | 81110-0205 | 81110-0200 |
63 | 2.5 | 81110-0256 | 81110-0253 | 81110-0255 | 81110-0250 |
80 | 3.0 | 81110-0306 | 81110-0303 | 81110-0305- | 81110-0300 |
100 | 4.0 | 81110-0406 | 81110-0403 | 81110-0405 | 81110-0400 |
160 | 6.0 | 81110-0606 | 81110-0603 | 81110-0605 | 81110-0600 |
200 | 8.0 | 81110-0806 | 81110-0803 | 81110-0805 | 81110-0800 |
*Для метрической системы последняя цифра меняется с '0' на '4 |
Пневматическое управление (включая индикаторы положения герконового типа)
DN | Модели KF / ISO-K | Модели ISO-F | Модели JIS | Модели CF-F* | |
---|---|---|---|---|---|
мм | дюйм | ||||
40 | 1.5 | 81210-0153R | _ | _ | 81210-0150R |
50 | 2.0 | 81210-0203R | _ | 81210-0205R | 81210-0200R |
63 | 2.5 | 81210-0256R | 81210-0253R | 81210-0255R | 81210-0250R |
80 | 3.0 | 81210-0306R | 81210-0303R | 81210-0305R | 81210-0300R |
100 | 4.0 | 81210-0406R | 81210-0403R | 81210-0405R | 81210-0400R |
160 | 6.0 | 81210-0606R | 81210-0603R | 81210-0605R | 81210-0600R |
200 | 8.0 | _ | 81210-0803R | 81210-0805R | 81210-0800R |
250 | 10.0 | _ | 81210-1003R | 81210-1005R | 81210-1000R |
320 | 12.0 | _ | 81210-1203R | 81210-1205R | 81210-1200R |
Для соленоида на 24 В постоянного тока – 81211 *Для метрической системы последняя цифра меняется с ‘0’ на ‘4’ |
Опции
Твердое анодирование
Фланцы под заказ и ASA фланцы
Порт предварительной откачки
Альтернативные материалы для уплотнительных колец
Установочный набор и аксессуары
Изоляционный кожух с защитой от нагрева Соленоиды на 220 В и 24 В переменного тока
- Цена: Цену уточняйте