Серия 81000 - Алюминиевые вакуумные затворы
HVA – основной производитель и поставщик для ведущих мировых компаний-инноваторов в области вакуумных технологий. Получив мировую известность благодаря выпуску высококачественных прецизионных вакуумных клапанов из нержавеющей стали, использовали конструкторский и инженерный опыт для разработки серии надежных, высокоэффективных алюминиевых вакуумных затворов.Области применения:
- Полупроводниковая промышленность
- Производство солнечных панелей
- Производство светодиодных и ЖК дисплеев
- Напыление и напылительные системы
- Биофармацевтика
- Системные интеграторы
- OEM производители
|
Прецизионно-точно изготовленный прочный алюминиевый корпус из монолитной заготовки 6061-T6 |
![]() |
|
|
Меньшая дегазация водорода (H2) чем затворы такого же размера из нержавеющей стали |
||
|
Два износостойких кольцевых уплотнения
|
||
|
Шток прямого привода большого диаметра из нержавеющей стали 304SS - Уменьшает вибрации |
||
|
Высококачественные комплектующие из полиэфирэфиркетона (PEEK)
|
||
|
Разъемный корпус обеспечивает простоту обслуживания |
Спецификация алюминиевых вакуумных затворов серии 81000
| Материалы | ![]() |
|
|---|---|---|
| Корпус и механика | Алюминий 6061-T6 | |
| Шток | [DN40-80] Алюминий / [DN100-500] нержавеющая сталь 304 | |
| Суппорт | Алюминий 6061-T6 / PEEK | |
| Уплотнения корпуса/тарелки/штока | Viton (эластомер) |
|
| Вакуум | ||
| Рабочий вакуум | до 1 x 10-7 мбар | |
| Натекание через затвор | < 2 x 10-9 мбар л/с | |
| Перепад давлений | ≤ 1.6 бар в любом направлении | |
| Перепад давлений перед открытием |
≤ 30 мбар |
|
| Рабочая температура | ||
| Корпус и затвор | ≤ 120°C | |
| Привод | ≤ 80°C | |
| Соленоид | ≤ 60°C | |
| Привод: | ||
| Сжатый воздух для пневматического соленоида | Макс. 5 атм | |
| Соленоид | 120 В, 50/60 Гц, 24 В | |
| Индикатор положения | 115 В или +28 В, 20 мА | |
| Положение для монтажа | любое | |
| Количество циклов Циклов до сервисного обслуживания |
[DN40 -160] 400,000 циклов [DN200 -320] 250,000 циклов |
Информация для заказа
Ручное управление| DN | Модели KF / ISO-K | Модели ISO-F | Модели JIS | Модели CF-F* | |
|---|---|---|---|---|---|
| мм | дюйм | ||||
| 40 | 1.5 | 81110-0153 | _ | _ | 81110-0150 |
| 50 | 2.0 | 81110-0203 | _ | 81110-0205 | 81110-0200 |
| 63 | 2.5 | 81110-0256 | 81110-0253 | 81110-0255 | 81110-0250 |
| 80 | 3.0 | 81110-0306 | 81110-0303 | 81110-0305- | 81110-0300 |
| 100 | 4.0 | 81110-0406 | 81110-0403 | 81110-0405 | 81110-0400 |
| 160 | 6.0 | 81110-0606 | 81110-0603 | 81110-0605 | 81110-0600 |
| 200 | 8.0 | 81110-0806 | 81110-0803 | 81110-0805 | 81110-0800 |
|
*Для метрической системы последняя цифра меняется с '0' на '4 |
|||||
Пневматическое управление (включая индикаторы положения герконового типа)
| DN | Модели KF / ISO-K | Модели ISO-F | Модели JIS | Модели CF-F* | |
|---|---|---|---|---|---|
| мм | дюйм | ||||
| 40 | 1.5 | 81210-0153R | _ | _ | 81210-0150R |
| 50 | 2.0 | 81210-0203R | _ | 81210-0205R | 81210-0200R |
| 63 | 2.5 | 81210-0256R | 81210-0253R | 81210-0255R | 81210-0250R |
| 80 | 3.0 | 81210-0306R | 81210-0303R | 81210-0305R | 81210-0300R |
| 100 | 4.0 | 81210-0406R | 81210-0403R | 81210-0405R | 81210-0400R |
| 160 | 6.0 | 81210-0606R | 81210-0603R | 81210-0605R | 81210-0600R |
| 200 | 8.0 | _ | 81210-0803R | 81210-0805R | 81210-0800R |
| 250 | 10.0 | _ | 81210-1003R | 81210-1005R | 81210-1000R |
| 320 | 12.0 | _ | 81210-1203R | 81210-1205R | 81210-1200R |
|
Для соленоида на 24 В постоянного тока – 81211 *Для метрической системы последняя цифра меняется с ‘0’ на ‘4’ |
|||||
Опции
Твердое анодирование
Фланцы под заказ и ASA фланцы
Порт предварительной откачки
Альтернативные материалы для уплотнительных колец
Установочный набор и аксессуары
Изоляционный кожух с защитой от нагрева Соленоиды на 220 В и 24 В переменного тока
- Цена: Цену уточняйте






