Угловые пневматические вакуумные клапаны с пневмоприводом двустороннего действия (пневматические угловые вакуу

Вакуумные клапаны с пневматическим управлением

Схема работы углового вакуумного клапана приведена на рисунке слева. Когда тарелка вакуумного клапана садится на седло вакуумного клапана (в которое вставлена уплотнительная резинка), вакуумный клапан находится в состоянии «закрыто».

Данная серия вакуумных клапанов имеет сильфонное уплотнение штока, что с точки зрения вакуумных технологий является более предпочтительным вариантом по сравнению с уплотнением штока с помощью витонового кольца, хотя сильфонное уплотнение удорожает стоимость вакуумного клапана. Сильфон штока надёжно защищает шток от взаимодействия с вакуумом. Учитывая динамический характер уплотнения штока, а тем более то, что это линейное движение (которое сложнее уплотнить и является менее надёжным по сравнению с вращательным движением), а также принимая во внимание, что сильфоны выдерживают до миллиона и больше циклов, вакуумные клапаны с сильфонным уплотнением штока стали стандартным решением для подавляющего большинства современных вакуумных приложений. Сильфонное уплотнение штока показано на рисунке справа.

Важным преимуществом данных вакуумных клапанов является электрополировка всех поверхностей и всех частей вакуумного клапана, что позволяет их применять в высоковакуумных сверхчистых приложениях. Электрополировка значительно уменьшает дегазацию с поверхности. Большая часть вакуумных клапанов, поставляемая нашими конкурентами, не имеет электрополировку поверхности.

Таблица для заказа