Пневматические линейные вакуумные клапаны двустороннего действия

Данная серия вакуумных клапанов имеет сильфонное уплотнение штока, что с точки зрения вакуумных технологий является более предпочтительным вариантом по сравнению с уплотнением штока с помощью витонового кольца, хотя сильфонное уплотнение удорожает стоимость вакуумного клапана. Сильфон штока надёжно защищает шток от взаимодействия с вакуумом.

Учитывая динамический характер уплотнения штока, а тем более то, что это линейное движение (которое сложнее уплотнить и является менее надёжным по сравнению с вращательным движением), а также принимая во внимание, что сильфоны выдерживают до миллиона и больше циклов, вакуумные клапаны с сильфонным уплотнением штока стали стандартным решением для подавляющего большинства современных вакуумных приложений. Сильфонное уплотнение штока показано на рисунке справа.

Важным преимуществом данных вакуумных клапанов является электрополировка всех поверхностей и частей вакуумного клапана, что позволяет их применять в высоковакуумных сверхчистых приложениях. Электрополировка значительно уменьшает дегазацию с поверхности. Большая часть вакуумных клапанов, поставляемая нашими конкурентами, не имеет электрополировку поверхности.
Что ещё отличает вакуумные клапаны друг от друга, и на что следует обратить внимание при выборе вакуумного клапана?
Очень важным является тип уплотнения между крышкой (в которой, как правило, расположен механизм, обеспечивающий движение: соленоид у электромагнитного клапана, пневматический цилиндр у пневматического клапана) и корпусом вакуумного клапана. Данное уплотнение может быть выполнено в виде витонового уплотнителя (витон – специальный полимер, аналог вакуумной резины) или в виде медной прокладки. Наличие медной прокладки позволяет поднять температуру нагрева клапана на несколько десятков градусов, что очень важно для сверхвысоковакуумных приложений, в которых все узлы сверхвысоковакуумной системы прогреваются до максимально возможных температур.
Вакуумные клапаны с медным уплотнением корпуса и крышки изготавливаются только с фланцами ConFlat (CF). Так как при нагреве температура на фланце обычно выше, чем температура внутри клапана (в области прижатия крышки вакуумного клапана), то нет смысла в производстве вакуумного клапана с уплотнением крышки медным уплотнителем, и при этом с уплотнением фланца по витону (т.е. вакуумного фланца стандарта KF, или по другой классификации вакуумного фланца стандарта NW).

Технические характеристики линейных пневматических вакуумных клапанов с пневмоприводом двустороннего действия

Таблица для заказа линейных пневматических вакуумных клапанов с пневмоприводом двустороннего действия