Схема работы углового вакуумного клапана приведена на рисунке. Когда тарелка вакуумного клапана садится на седло вакуумного клапана (в которое вставлена уплотнительная резинка), вакуумный клапан находится в состоянии «закрыто».
Данная серия вакуумных клапанов имеет сильфонное уплотнение штока, что с точки зрения вакуумных технологий является более предпочтительным вариантом по сравнению с уплотнением штока с помощью витонового кольца, хотя сильфонное уплотнение удорожает стоимость вакуумного клапана. Сильфон штока надёжно защищает шток от взаимодействия с вакуумом. Учитывая динамический характер уплотнения штока, а тем более то, что это линейное движение (которое сложнее уплотнить и является менее надёжным по сравнению с вращательным движением), а также принимая во внимание, что сильфоны выдерживают до миллиона и больше циклов, вакуумные клапаны с сильфонным уплотнением штока стали стандартным решением для подавляющего большинства современных вакуумных приложений. Сильфонное уплотнение штока показано на рисунке справа
Важным преимуществом данных вакуумных клапанов является электрополировка всех поверхностей и всех частей вакуумного клапана, что позволяет их применять в высоковакуумных сверхчистых приложениях. Электрополировка значительно уменьшает дегазацию с поверхности. Большая часть вакуумных клапанов, поставляемая нашими конкурентами, не имеет электрополировку поверхности.
Что ещё отличает вакуумные клапаны друг от друга, и на что следует обратить внимание при выборе вакуумного клапана?
Очень важным является тип уплотнения между крышкой и корпусом вакуумного клапана. Данное уплотнение может быть выполнено в виде витонового уплотнителя (витон – специальный полимер, аналог вакуумной резины) или в виде медной прокладки. Наличие медной прокладки позволяет поднять температуру прогрева клапана на несколько десятков градусов, что очень важно для сверхвысоковакуумных приложений, в которых все узлы сверхвысоковакуумной системы прогреваются до максимально возможных температур.
Вакуумные клапаны с медным уплотнением корпуса и крышки изготавливаются только с фланцами ConFlat (CF). Так как при нагреве температура на фланце обычно выше, чем температура внутри клапана (в области прижатия крышки вакуумного клапана), то нет смысла в производстве вакуумного клапана с уплотнением крышки медным уплотнителем, и при этом с уплотнением фланца по витону (т.е. вакуумного фланца стандарта KF, или по другой классификации вакуумного фланца стандарта NW).
Поставляемые компанией АКТАН ВАКУУМ угловые ручные вакуумные клапаны отличает высочайшая надёжность изготовления: срок наработки на отказ составляет более 1 миллиона циклов!
Учитывая высокую популярность данных ручных вакуумных клапанов, данная серия всегда есть на нашем складе.
Ниже вы можете ознакомиться с технической спецификацией вакуумных клапанов и информацией для заказа.
Технические характеристики угловых ручных вакуумных клапанов для высоковакуумных и сверхвысоковакуумных приложений:
Сверхвысоковакуумная серия (уплотнение крышки к корпусу клапана – медь, уплотнение тарелки и седла – витон) | Высоковакуумная серия (уплотнение крышки к корпусу клапана – витон, уплотнение тарелки и седла – витон) | |
---|---|---|
Уплотнение штока привода | сильфонное | сильфонное |
Уплотнение тарелки при закрытии клапана | Витон | Витон |
Уплотнение крышки и корпуса клапана | медь | Витон |
Рабочий диапазон давлений | 2500 ... 1х10-10 Торр (мм.рт.ст.) 2000 ... 1,33х10-10 мбар 200 ... 1,33х10-11 кПа |
2500 ... 1х10-8 Торр (мм.рт.ст.) 2500 ... 1,33х10-8 мбар 200 ... 1,33х10-9 кПа |
Герметичность (натекание по гелию) | 1х10-10 Торр×литр/сек 1,33х10-10 мбар×литр/сек 1,33х10-11 кПа×литр/сек |
1х10-9 Торр×литр/сек 1,33х10-9 мбар×литр/сек 1,33х10-10 кПа×литр/сек |
Фланцы | KF (NW), ConFlat (CF), труба | ConFlat (CF), труба |
Температура прогрева клапана | 200°С | 100°С |
Наработка на отказ | Более 1 млн. циклов | |
Материал корпуса | Нержавеющая сталь 08Х18Н10 (сталь 304 по AISI) | |
Материал сильфона | Нержавеющая сталь 08Х17Н5М3 (сталь AM350 по AISI) | |
Положение при монтаже | любое |
KF16/CF1.33'' | KF25 | KF40/CF2.75'' | KF50 | |
Максимальный перепад давлений при закрытом клапане | 2025 Торр 2700 мбар 270 кПа |
1800 Торр 2400 мбар 240 кПа |
1725 Торр 2300 мбар 230 кПа |
1500 Торр 2000 мбар 200 кПа |
Максимальный перепад давлений при открытии клапана | 1500 Торр 2000 мбар 200 кПа |
|||
Время открытия/закрытия клапана | 0,5 сек. | 0,6 сек. | 0,8 сек. | 0,9 сек. |
Проводимость клапана (молекулярный поток) | 6 (литр/сек) | 15 (литр/сек) | 48 (литр/сек) | 82 (литр/сек) |
Таблица для заказа угловых ручных вакуумных клапанов для высоковакуумных и сверхвысоковакуумных приложений
Артикул | Наименование | Фланцы | |
---|---|---|---|
Клапан высоковакуумный угловой ручной с витоновым уплотнением корпуса и крышки, нормально-закрытый. |
|||
MAV-HV-KF-16 | Клапан вакуумный угловой KF16 ручной, сталь | KF16 | |
MAV-HV-KF-25 | Клапан вакуумный угловой KF25 ручной, сталь | KF25 | |
MAV-HV-KF-40 | Клапан вакуумный угловой KF40 ручной, сталь | KF40 | |
MAV-HV-KF-50 | Клапан вакуумный угловой KF50 ручной, сталь | KF50 | |
MAV-HV-CF-133 | Клапан вакуумный угловой CF1,33'' (CF16) ручной с витоновым уплотнением корпуса, сталь | CF16 (CF1.33") | |
MAV-HV-CF-212 | Клапан вакуумный угловой CF2,12'' (CF25) ручной с витоновым уплотнением корпуса, сталь | CF25 (CF2.12") | |
MAV-HV-CF-275 | Клапан вакуумный угловой CF2,75'' (CF35) ручной с витоновым уплотнением корпуса, сталь | CF40 (CF2.75") | |
MAV-HV-CF-338 | Клапан вакуумный угловой CF3,38'' (CF50) ручной с витоновым уплотнением корпуса, сталь | CF50 (CF3.38") | |
A2518AMXAVX0000752 | Клапан вакуумный угловой ручной без фланцев, труба 0,75 дюйма под приварку, сталь | Труба 0,75" | |
A2518AMXAVX0001002 | Клапан вакуумный угловой ручной без фланцев, труба 1 дюйм под приварку, сталь | Труба 1" | |
A2518AMXAVX0001502 | Клапан вакуумный угловой ручной без фланцев, труба 1,5 дюйма под приварку, сталь | Труба 1,5" | |
A2518AMXAVX0002002 | Клапан вакуумный угловой ручной без фланцев, труба 2 дюйма под приварку, сталь | Труба 2" | |
Клапан сверхвысоковакуумный угловой ручной с медным уплотнением корпуса и крышки, нормально-закрытый. | |||
MAV-UHV-CF-133 | Клапан вакуумный угловой CF1,33'' (CF16) ручной с медным уплотнением корпуса, сталь | CF16 (CF1.33") | |
MAV-UHV-CF-212 | Клапан вакуумный угловой CF2,12'' (CF25) ручной с медным уплотнением корпуса, сталь | CF2,12'' (CF25) | |
MAV-UHV-CF-275 | Клапан вакуумный угловой CF2,75'' (CF40) ручной с медным уплотнением корпуса, сталь | CF40 (CF2.75") |
- Цена: Цену уточняйте