Вакуумные откачные посты RV

Компания АКТАН ВАКУУМ производит вакуумные откачные посты и обеспечивает пусконаладочные работы, предоставляет гарантию на вакуумные откачные посты Российского производства.

Вакуумные откачные посты RV

Высоковакуумные посты отечественного производства (компании АКТАН ВАКУУМ ) на базе надежных и качественных комплектующих могут быть использованы во многих сферах как научно-исследовательской деятельности, так и в промышленном производстве.

Вакуумный откачной пост может быть скомпонован по двум схемам:

   • Вакуумный откачной пост как Только откачные средства: на платформе-раме из нержавеющей стали установлены высоковакуумный насос и форвакуумный насос, средства измерения вакуума- вакуумметры, вакуумная арматура, источник бесперебойного питания (ИБП).

     • Вакуумный откачной пост с вакуумной камерой из нержавеющей стали.

В обоих случаях оборудование монтируется на раме из нержавеющей стали (для возможности установки вакуумного откачного поста в чистые помещения).

При заказе вакуумного откачного поста с вакуумной камерой предельное давление в вакуумной камере зависит не только от производительности вакуумного откачного поста, но и от натекания, которое определяется качеством сварных швов, герметичностью всех соединений в вакуумной камере, размером вакуумной камеры, обработкой внутренних поверхностей вакуумной камеры. Все наши вакуумные камеры проверены на гелиевом масс-спектрометрическом течеискателе. Опционно внутренние поверхности вакуумной камеры или вакуумная камера целиком может иметь электрополированную поверхность.

В качестве средств высоковакуумной откачки в вакуумном откачном посту используются вакуумные безмасляные турбомолекулярные насосы (условные диаметры высоковакуумных турбомолекулярных насосов: Ду40, Ду63, Ду100, Ду160, Ду200, Ду250), форвакуумная часть откачной системы – либо двухступенчатый пластинчато-роторный вакуумный насос, либо безмасляный спиральный вакуумный насос или безмасляный диафрагменный вакуумный насос. В случае, если необходимо обеспечить высокопроизводительную безмасляную откачку вакуумной камеры большого объёма, в качестве безмаслянного форвакуумного насоса в форлинию устанавливается сухой винтовой вакуумный насос.

Если требуется организация байпасной системы откачки в вакуумном откачного посте, то возможна установка затвора для отсечения вакуумного турбомолекулярного насоса (ТМН). Вакуумные затворы могут быть как двухпозиционными (открыто/закрыто), так и трехпозиционными – этот функционал актуален в том числе и для реализации технологии магнетронного напыления, когда требуется дросселирование откачки в вакуумной системе.

Управление вакуумным откачным постом может быть реализовано как в ручном режиме, так и в автоматическом режиме - на базе программируемого логического контроллера (ПЛК) Siemens с небольшим монохромным строчным экраном, либо на базе компьютера (ПК) с цветным сенсорным (тач-скрин) дисплеем. Конкретные технические характеристики могут быть различны в зависимости от схемы компоновки откачных средств в вакуумном откачном посту.

Вакуумный пост откачной без вакуумной камеры представляет из себя надежную, прочную конструкцию из металлического каркаса (нержавеющая сталь) на колесах, имеется возможность регулирования высоты установки вакуумного турбомолекулярного насоса (ТМН). На каркасе стойки вакуумного откачного поста смонтированы средства откачки в составе вакуумного турбомолекулярного насоса (ТМН) с контроллером и форвакуумного насоса, средств измерения вакуума – вакуумных датчиков, ИБП.

Области применения вакуумных откачных постов – любые, технически разумные в вакуумной тематике:

1. Построение на базе вакуумного откачного поста своей системы напыления, травления, обезгаживания, пайки и др.
2. Вакууммирование вакуумных термошкафов.
3. Общие применения вакуумных откачных постов в лаборатории, на производстве.
4. Встраивание вакуумного откачного поста в аналитическую систему – будь то оборудование атомно-силовой микроскопии, спектроскопии или любого другого анализа поверхности.
5. Системы для хранения образцов под вакуумом.
6. Откачка криостатов.

Вакуумный откачной пост АКТАН ВАКУУМ без вакуумной камеры

Данные модификации вакуумных откачных постов не являются окончательными и могут быть доработаны индивидуально под Заказчика.

БАЗОВАЯ модификация вакуумного откачного поста с ручным управлением без вакуумной камеры включает в себя платформу-раму из нержавеющей стали на колесах, с возможностью регулирования высоты установки вакуумного турбомолекулярного насоса (ТМН), на которой установлено следующее оборудование:

- ТМН компании KYKY Technology Co., ltd с котроллером, интерфейс RS-232 или аналоговый;

- Форвакуумный насос по выбору - вакуумный пластинчато-роторный насос ADVAVAC или вакуумный сухой спиральный насос Vacscroll;

- Соединительная вакуумная арматура;

-Источник бесперебойного питания(ИБП).

Управление откачного поста в базовой модификации: ручное.

Принцип работы вакуумного откачного поста в комплектации «Базовая модификация с ручным управлением»:

1. Включить общее питание вакуумного откачного поста (кнопка на платформе/раме).
2. Включить форвакуумный насос (вручную).
3. Включить ТМН при вакууме 10^-3 мбар (вручную).

Комплектация вакуумного откачного поста является базовой, возможно добавление дополнительных узлов или замена стандартных.

ОПТИМАЛЬНАЯ модификация вакуумного откачного поста с ручным управлением без вакуумной камеры включает в себя комплектацию БАЗОВОЙ модификации, к которой добавляются вакуумный датчик (с дисплеем или без) и, при необходимости, контроллер вакуумного датчика:

активный датчик вакуума Thyracont серии Smartline на выбор:

- VSM - комбинированный вакуумный датчик Пирани/ высоковакуумный датчик с холодным катодом, диапазон измерений 1000^-5 x 10^-9 мбар (750^-5 x 10^-9 торр)

или

- VSH – комбинированный вакуумный датчик Пирани/ высоковакуумный датчик с горячим катодом, диапазон измерений 1000^-5 x10^-10 мбар (750^-5 x10^-10 торр)

Оба широкодиапазонных вакуумных датчика VSM и VSH могут быть установлены с диплеем или без дисплея.

При необходимости в вакуумный откачной пост может быть установлен контроллер для активных датчиков вакуума Thyracont серии Smartline на выбор:

- контроллер для активных датчиков вакуума VD12S2 – 2-х канальный, интерфейс RS-485 или аналоговый

или

- контроллер для активных датчиков вакуума VD10S8 – 4-х канальный, интерфейс RS-485 или аналоговый

ПОЛНАЯ модификация вакуумного откачного поста с автоматическим управлением без вакуумной камеры включает в себя комплектацию ОПТИМАЛЬНОЙ модификации, к которой добавляется ПЛК или ПК:

программируемый логический контроллер (блок управления), Siemens. Программируемый логический контроллер (ПЛК) позволяет вакуумному откачному посту работать в полностью автоматическом режиме – оператору откачного поста требуется один раз задать параметры процесса, а система контроля вакуумного откачного поста в полностью автоматизированном режиме проведет процесс и сохранит необходимые данные. От оператора требуется только загрузить и разгрузить систему, и нажать кнопку «ПУСК». Управление автоматическое с панели ПЛК Siemens. 

или

персональный компьютер (блок управления) с сенсорным цветным дисплеем. В данной модификации вакуумный откачной пост также работает в полностью автоматическом режиме, но при этом параметры работы узлов (состояние вакуумных насосов, вакуумных клапанов) оператор наблюдает на цветном дисплее. Система контроля в полностью автоматизированном режиме проведет процесс и сохранит необходимые данные, а также дополнительно может вести журнал с параметрами проведённых процессов.

Возможные опции для любой модификации вакуумного откачного поста:

• ТМН Leybold, Германия
• Анализатор остаточных газов XT-100 (1-100 а.е.м) Extorr, США
• Установка вакуумного двухпозиционного затвора (шибера) (открыто/закрыто)
• Установка вакуумного трехпозиционного затвора (шибера) (открыто/закрыто/третье настраиваемое положение)
• Возможно добавление дополнительных узлов или замена стандартных