АВТОМАТИЧЕСКАЯ ЦИФРОВАЯ МНОГОКАНАЛЬНАЯ СИСТЕМА ПОДДЕРЖАНИЯ ДАВЛЕНИЯ В ВАКУУМНОЙ КАМЕРЕ

Система включает в себя цифровой ионизационно-термопарный вакуумметр с непрерывным диапазоном измерения давления, автоматической дегазацией датчиков и цифровой натекатель газа содержащий два или более встроенных прецизионных регуляторов расхода газа, с теплометрическими измерителями расхода газа, что позволяет прибору работать в режиме автономного напуска заданных расходов газа, независимо от входного давления.

На фото: Cистема поддержания давления в вакуумной камере

На фото: Cистема поддержания давления в вакуумной камере (схема подключения)

Буквами на схеме показано:

А — электронный блок вакуумметра
B — провод питания 220В
С — термопарная лампа
D — ионизационная лампа
E — электронный блок натекателя
G — сигнальные кабеля
H — кабель обмена данными с IBM
J — IBM
L — кабель обмена данными между блоками
M — кабель для подключения дополнительных устройств в сеть
N,O — вход рабочих газов
P,R — выход рабочих газов.

Управление приборами системы осуществляется как с клавиатуры на корпусе (автономно), так и дистанционно с ЭВМ через сетевой интерфейс RS-485.

Система предназначена для автоматического управления расходом рабочих газов (инертных и реактивных), например, магнетронных и ионно-лучевых технологических процессов нанесения металлов, их нитридов, оксидов, карбидов, карбонитридов и других одним или более распылителями в условиях постоянства или воспроизводимости мощности разрядов. Система работает в непрерывном диапазоне значений давления без переключения пределов измерений от 100 до 10^-5 Па (0,8-10^-7 мм. рт. ст.).

Датчики вакуумметра преобразуют величину давления в вакуумной камере, в электрические сигналы. Эти сигналы поступают в усилители нормализации и далее в контроллер. Контроллер передает обработанное значение давления на многоканальный натекатель рабочих газов. Расход рабочих газов поддерживается на уровне, при котором в ходе процессов нанесения покрытий сохраняется величина давления в вакуумной камере, а также состав потока (соотношение газов), из которого формируется покрытие.

Показания термопарного и ионизационного датчиков выводятся на экран вакуумметра одновременно.

По итогам конкурса «Лучший отечественный измерительный прибор-2008» приборы «Вакуумметр цифровой с непрерывным расширенным диапазоном измерения» и «Цифровой натекатель газов» признаны лауреатами и получили соответствующие дипломы.

На дисплее натекателя отображается заданное и измеренное давление, расходы газов по каналам, а также заданная и измеренная пропорция газового потока.